技術(shù)設(shè)備 >> 半導(dǎo)體電子純水
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芯片研發(fā)生產(chǎn)用18.25兆超純水系統(tǒng)-脫氣+分配氮封系統(tǒng)
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反滲透技術(shù),是當(dāng)今最先進(jìn)和最節(jié)能有效的膜分離技術(shù)。其原理是在高于溶液滲透壓的作用下,依據(jù)其他物質(zhì)不能透過半透膜而將這些物質(zhì)和水分離開來。由于反滲透膜的膜孔徑非常。▋H為10A左右),因此能夠有效地去除水中的溶解鹽類、膠體、微生物、有機(jī)物等(去除率高達(dá)97%-98%)。反滲透是目前高純水設(shè)備中應(yīng)用最廣泛的一種脫鹽技術(shù),它的分離對(duì)象是溶液中的離子范圍和分子量幾百的有機(jī)物。 我公司集多年工業(yè)水處理系統(tǒng)的工藝設(shè)計(jì)、設(shè)備制造、系統(tǒng)成套及膜應(yīng)用技術(shù)的經(jīng)驗(yàn),選取合理的工藝設(shè)置和設(shè)計(jì)參數(shù),確保設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。 (二)設(shè)備工藝說明 (1)原水泵:主要功能:恒定系統(tǒng)供水壓力,穩(wěn)定供水量。 (2)自動(dòng)加絮凝劑裝置:特點(diǎn)是能夠?qū)⑷芤褐械膽腋∥⒘>奂?lián)結(jié)形成粗大的絮狀團(tuán);驁F(tuán)塊,在下道過濾中去除。 (2)多介質(zhì)過濾器:采用多次過濾層的過濾器,主要目的是去除原水中含有的泥沙、鐵銹、膠體物質(zhì)、懸浮物等顆粒在20um以上的物質(zhì)。系統(tǒng)可以進(jìn)行反沖洗、正沖洗等一系列操作。主要功能:保證設(shè)備的產(chǎn)水質(zhì)量,延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命。 (3)活性炭過濾器:采用椰殼活性炭,不但可以吸附電解質(zhì)離子,還可以去除水中的色素、異味、大量生化有機(jī)物、降低水的余氯值及農(nóng)藥污染物和三鹵化物。系統(tǒng)可以進(jìn)行反沖洗、正沖洗等一系列操作。主要功能:保證設(shè)備的產(chǎn)水質(zhì)量,延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命。 (4)軟化過濾器:水的硬度主要由鈣、鎂形成及表示,鈉離子交換軟化處理的原理是將原水通過鈉型陽離子交換樹脂,使水中的硬度成分Ca2+、Mg2+與樹脂中的Na+相交換,從而吸附水中的Ca2+、Mg2+,使水得到軟化,以達(dá)到高溫時(shí)不出現(xiàn)固體垢的目的。 (5)自動(dòng)加藥阻垢裝置:在很大的濃度范圍內(nèi)有效的控制無機(jī)物結(jié)垢,不與鐵鋁氧化物及硅化合物凝聚形成不溶物,可防止反滲透膜面結(jié)垢,能提高產(chǎn)水量和產(chǎn)水質(zhì)量,降低運(yùn)行費(fèi)用。 (6)保安過濾器:采用5um濾芯來截留預(yù)處理系統(tǒng)漏過的少量機(jī)械雜質(zhì)。過濾器筒體采用SUS304材質(zhì),內(nèi)裝PPF濾芯。該濾芯是一種效率高、阻力小的深層過濾元件。適用于含懸浮雜質(zhì)較低(濁度小于5度)的水進(jìn)一步凈化。主要功能:保證進(jìn)入反滲透膜的水顆粒度小于5um。 (7)高壓泵:因?yàn)榉礉B透膜在工作過程中需要較高的壓力,高壓泵是反滲透系統(tǒng)的主要運(yùn)作設(shè)備,為反滲透裝置的運(yùn)行提供動(dòng)力來源。本系統(tǒng)采購杭州南方高壓泵,材質(zhì)為SUS304,具有外形美觀、占地面積小、噪音小、免維護(hù)、經(jīng)久耐用的特點(diǎn)。高壓泵進(jìn)出水口設(shè)置低壓、高壓保護(hù)開關(guān),當(dāng)進(jìn)水壓力值低于設(shè)定值(0.05Mpa)時(shí),停止高壓泵,防止高壓泵抽空損壞;當(dāng)進(jìn)水壓力高于設(shè)定值(1.5 Mpa)時(shí),停止高于泵,保護(hù)高壓泵、膜組件不受到損壞。 (7)反滲透系統(tǒng):通過泵加壓,利用孔徑為1/10000μm(相當(dāng)于大腸桿菌大小的1/6000,病毒的1/300)的反滲透膜(RO膜),使較高濃度的水變?yōu)榈蜐舛人?/FONT>,同時(shí)將工業(yè)污染物、重金屬、細(xì)菌、病毒等大量混入水中的雜質(zhì)全部隔離,從而達(dá)到純化水規(guī)定的理化指標(biāo)及衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)。由于RO反滲透技術(shù)生產(chǎn)的水純凈度是目前人類掌握的一切制水技術(shù)中最高的,潔凈度幾乎達(dá)到100%。設(shè)備的核心部位為反滲透膜,我公司利用美國(guó)陶氏公司所生產(chǎn)的原裝進(jìn)口聚酰胺(BW30)系列膜。該膜具有產(chǎn)水量高,脫鹽率的優(yōu)點(diǎn)。 (8)級(jí)間PH調(diào)節(jié)裝置:由于CO2不能通過RO膜分離,而且對(duì)產(chǎn)水電導(dǎo)率的影響較大,所以向一級(jí)產(chǎn)水中添加NaOH溶液,將一級(jí)產(chǎn)水中的微量CO2轉(zhuǎn)換成HCO3-, HCO3-可以在二級(jí)反滲透過程中去除,從而達(dá)到降低產(chǎn)水電導(dǎo)率的目的。另外,由于反滲透產(chǎn)水顯酸性,適量加入堿液也可以起到調(diào)節(jié)產(chǎn)水PH值的作用。 (9)3.EDI裝置 EDI裝置是應(yīng)用有反滲透系統(tǒng)之后,取代混合離子交換床的成熟技術(shù)具有產(chǎn)水品質(zhì)穩(wěn)定,運(yùn)行費(fèi)用低,操作管理方便。占地面積小及無有害廢水排放等優(yōu)點(diǎn)。超純水制備工藝的發(fā)展方向,已被全世界主要水處理工程公司所認(rèn)證。自1986年EDI技術(shù)工業(yè)化以來,已有數(shù)千套EDI投入支行,尤其在制藥、半導(dǎo)體、電力和光電等工業(yè)中得到了非常廣泛的應(yīng)用。總的說有八大優(yōu)點(diǎn): |
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